ООО «ВТТ»: установка для напыления оптических покрытий VTT-1100-ОПТИК

231042, Республика Беларусь, Гродненская обл., г.Сморгонь, проезд Я.Коласа, 4

Тел. +37529 116 78 06

Тел/факс +3751592-4-12-90

Выпускаемая продукция:

Стандартная конфигурация оборудования. Диаметр камеры 1100 мм. Форвакуумная откачка построена на базе двух механических насосов. Первая ступень - пластинчато-роторный насос производительностью 250 м3/ч. Вторая ступень - насос Рутса производительностью 500 м3/ч. Высоковакуумная откачка организована на криогенном насосе, скорость откачки по азоту 10000 л/с. Для регенерации установлен спиральный насос, скорость откачки 12,5 м3/ч. Для контроля вакуума в оборудовании установлены датчики INFICON. Установка оснащена двумя резистивными и двумя электронно-лучевыми испарителями VTT-8 собственного производства. Для очистки изделий и асистирования покрытия в процессе напыления используется ионный источник HCS-3000. Для контроля скорости и толщины осаждаемой пленки установка оснащена системой кварцевого контроля SQC 310.

Адрес в интернете: www.vacuumtt.ru/index.php/vypuskaemoe-oborudovanie

Назначение: напыление высококачественных многослойных оптических покрытий для видимого, инфракрасного и ультрафиалетового диапазонов. На вакуумной установке данной модели можно напылять фильтры разной конфигурации, просветляющие покрытия, зеркальные покрытия, покрытия повышающие коэфициент отражения. Для спектрального контроля оптических характеристик покрытия используется система контроля на пропускание и отражение собственного производства в диапазонах 380-1100 нм и 900 -1700 нм, построенная на базе оптической линейки VIS100 и NIR100. Для нагрева изделий в процессе напыления используется нижний нагрев инфрокрасными ламповыми нагревателями. Установка может быть оснащена другими средствами откачки по согласованию с потребителем. Возможна установка верхних нагревательных элементов. Для напыления специализироанных деталей и получения более высокой равномерности на изделииях возможна установка планетарной оснастки.