ООО «ВТТ»: установка для напыления оптических покрытий VTT-1900-ОПТИК

231042, Республика Беларусь, Гродненская обл., г.Сморгонь, проезд Я.Коласа, 4

Тел. +37529 116 78 06

Тел/факс +3751592-4-12-90

Выпускаемая продукция:

Стандартная конфигурация оборудования. Диаметр камеры 1900 мм. Форвакуумная откачка построена на базе двух механических насосов. Первая ступень - пластинчато-роторный насос производительностью 500 м3/ч. Вторая ступень - насос Рутса производительностью 1000 м3/ч. Высоковакуумная откачка организована на двух криогенных насосах, скорость откачки по азоту 10000 л/с. Для регенерации установлены два спиральных насоса, скорость откачки 12,5 м3/ч. Для контроля вакуума в оборудовании установлены датчики INFICON. Установка оснащена шестью резистивными и двумя электронно-лучевыми испарителями VTT-10 собственного производства. Для очистки изделий и асистирования покрытия в процессе напыления используются два ионных источника HCS-3000. Для контроля скорости и толщины осаждаемой пленки установка оснащена системой кварцевого контроля SQC 310.

Адрес в интернете: www.vacuumtt.ru/index.php/vypuskaemoe-oborudovanie

Назначение: напыление высококачественных многослойных оптических покрытий для видимого диапазона. Данная вакуумная установка спроектирована для напыления крупногабаритной асферической оптики. Приоритетной задачей данного оборудования является напыление зеркальных покрытий с повышенным коэффициентом отражения в видимой области спектра. Для загрузки и выгрузки крупногабаритных изделий установка оснащена электромеханическим устройством загрузки и выгрузки. Для спектрального контроля оптических характеристик покрытия используется система контроля на пропускание и отражение собственного производства в диапазоне 380-1100 нм, построенная на базе оптической линейки VIS100. Для нагрева изделий в процессе напыления используется нижний нагрев инфракрасными ламповыми нагревателями. Установка может быть оснащена другими средствами откачки по согласованию с потребителем.