ООО «НАНОТЕХНОВАК»: оборудование для осаждения тонкопленочных покрытий алмазоподобного аморфного углерода

231044, Республика Беларусь, Гродненская обл., г.Сморгонь, пр-т Индустриальный, строение 15, офис 206

Тел. +375 (1592) 42 0 71, +375 (29) 638 75 23

Выпускаемая продукция:

Паровой фазой в технологической системе является углеродная плазма импульсного вакуумного электродугового разряда. Импульсный генератор углеродной плазмы состоит из анода, катода, дополнительного анода, системы инициирующих электродов. Все электроды генератора плазмы выполнены из плотного мелкодисперсного графита. Данная технологическая система позволяет наносить тонкопленочные DLC покрытия на основе безводородных пленок тетраэдрического аморфного углерода. В зависимости от типа подложки и особенностей процесса были получены образцы со следующими характеристиками: Микротвердость 35 – 65 ГПа; Концентрация sp3 связей 30 – 80%; Коэффициент трения 0,1 – 0,12; Плотность 2,9 г/см3; Модуль Юнга 700 ГПа.

Адрес в интернете: www.ntvac.by/ru/production/parcs.php

ООО «Нанотехновак» предлагает потребителю элементы для построения технологического комплекса нанесения тонкопленочных покрытий тетраэдрического аморфного углерода с использования PVD методов их осаждения. Алмазоподобный углерод (DLC) – метастабильная форма аморфного углерода, содержащая значительное количество sp3 связей. Он имеет высокую механическую твердость, химически инертен, оптически прозрачен и является полупроводником с широкой запрещенной зоной. DLC тонкопленочные покрытия нашли широкое распространение как защитные покрытия в автомобилестроении, производстве режущего инструмента, микро-электромеханических приборов, производстве оптических приборов, и в других областях.